電子探針（EPMA）

JXA-8230 日本電子生產(chǎn)

技術(shù)參數(shù)

二次電子像分辨率：5nm                               背散射電子像分辨率：20nm（拓撲像、成分像），成分分辨足以清晰分辨α/β黃銅
電子槍：LaB6發(fā)射槍，預(yù)對中燈絲                 加速電壓：0～30kV;                  
束流范圍：10^-5～10^-12 A                        圖像放大倍數(shù)：×40～×300,000，連續(xù)可調(diào)                  
分析元素：5B~92U                                       分析精度：高于1%(主元素,含量＞5%)和5%(次要元素,含量～1%)                  
分析速度：自動全元素定性分析時間≤60秒，可以自動識別0.1wt%以上的元素    

                
應(yīng)用范圍

用于成分分析、形貌觀察，以成分分析為主。主要用WDS進行元素成分分析、檢出角大、附有光學顯微鏡，可以準確定位工作距離(物鏡極靴下表面與試樣表面之間的距離）、電流大、穩(wěn)定，所以定量結(jié)果準確度高,檢測極限低。

點分析

將電子束（探針）固定在試樣感興趣的點上，進行定性或定量分析。該方法準確度高（適用于低含量元素定量 ），用于顯微結(jié)構(gòu)的成分分析，例如，對材料晶界、夾雜、析出相、沉淀物、奇異相及非化學計量材料的組成等分析。

線分析
電子束沿一條分析線進行掃描(或試樣臺移動掃描)時，能獲得元素含量變化的線分布曲線。如果和試樣形貌像（二次電子像或背散射電子像）對照分析，能直觀地獲得元素在不同相或區(qū)域內(nèi)的分布變化曲線。   
面分析
將電子束在試樣表面掃描時，元素在試樣表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布顯示出來（定性分析)，亮度越亮元素含量越高。研究材料中雜質(zhì)、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常與形貌像對照分析。