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球差電鏡有兩種模式:TEM模式和STEM模式,一般在TEM模式下更多是觀察形貌,在STEM模式下,可以做EDS和EELS成分線掃和mapping。
?。?)TEM模式:
低倍形貌像、高分辨像、衍射、會(huì)聚束衍射、納米束衍射,EFTEM(配GIF系統(tǒng)),高分辨圖像透射束和衍射束的相干像,襯度與焦聚有關(guān),如果要解析原子結(jié)構(gòu)像,樣品要求比較薄,現(xiàn)在用戶使用不多。
但如果想做原位電子顯微學(xué)研究,一般都在此模式下進(jìn)行。收集圖像的設(shè)備是CCD。
(2)STEM模式
該模式下,可以使用各種明場(chǎng)和暗場(chǎng)探頭收集各種圖像。收集圖像種類有HADDF\LADDF\BF\ABF(JEOL),它有優(yōu)勢(shì)得到的是原子結(jié)構(gòu)像,像的襯度與原子序數(shù)有關(guān),用戶處理數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單。EDS和EELS線掃描和面掃描都需要在此模式下進(jìn)行。
(3)EDS: 能量分辨率130ev,B之后都可以測(cè),一般Na之后會(huì)比較準(zhǔn)。
?。?)EELS :EELS能夠測(cè)試的元素:能量分辨率0.7ev,理論上Li之后可以測(cè)。C、N、O、F、Mn、Fe、Ni、Cu等這些元素多些,但有些元素在高能區(qū),不好測(cè)。
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