XPS數(shù)據(jù)解析是指通過對初始圖譜進行定標、分峰、擬合、比對、積分等一系列的操作而獲得待測樣品結(jié)構(gòu)組成一種數(shù)據(jù)處理手段，常用的XPS數(shù)據(jù)解析軟件有xps peak fit、Origin、CasaXPS等，通過XPS數(shù)據(jù)分析我們可得到樣品表面的元素組成、含量、化學(xué)價態(tài)、官能團種類、化學(xué)鍵合方式等信息，可分為定性分析和定量分析兩種。

　　XPS數(shù)據(jù)分析注意事項

　　1. XPS可以做的項目：常規(guī)全譜窄譜測試、俄歇譜、價帶譜、深度濺射、MAPPING、角分辨

　　2. XPS測試的元素范圍是Li-Cm，H、He元素不能測試

　　3. XPS數(shù)據(jù)分析可以等到元素的價態(tài)及半定量數(shù)據(jù)。原子百分含量小于5%的元素可能測不出明顯信號

　　4. 無特殊說明，默認是使用單色化AlKa源(Mono AlKa)能量是1486.6eV

　　5. 使用Al Kα X-ray會出現(xiàn)的重疊譜峰，當有重疊譜峰的時候直接定量的結(jié)果不能參考。下方是常見的一些重疊譜峰的情況，解決方法是

　　a.通過分峰擬合(這個是數(shù)據(jù)分析的內(nèi)容)后再重新定量;

　　b.測試其他軌道的峰，需要備注相應(yīng)的軌道，默認是測試最強峰;

　　c.如果是與部分元素的俄歇峰重疊，建議可以更換靶材試試，比如Mg靶

　　6. XPS測試數(shù)據(jù)提供原始數(shù)據(jù)，全譜圖譜，無元素分析，精細譜不做任何矯正，不同材料的矯正方法不同，可以提供矯正操作的視頻，鏈接。

　　選擇中科百測做XPS數(shù)據(jù)分析有哪些優(yōu)勢

　　1、中科百測擁有較全面的儀器設(shè)備，及多余年經(jīng)驗的工程師團隊。

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