XPS數(shù)據(jù)解析是指通過對初始圖譜進(jìn)行定標(biāo)、分峰、擬合、比對、積分等一系列的操作而獲得待測樣品結(jié)構(gòu)組成一種數(shù)據(jù)處理手段，常用的XPS數(shù)據(jù)解析軟件有xps peak fit、Origin、CasaXPS等，通過XPS數(shù)據(jù)分析我們可得到樣品表面的元素組成、含量、化學(xué)價(jià)態(tài)、官能團(tuán)種類、化學(xué)鍵合方式等信息，可分為定性分析和定量分析兩種。

　　XPS數(shù)據(jù)分析案例

　　案例（一）：價(jià)態(tài)分析、鍵合方式分析

　　案例（二）：鍵合方式、官能團(tuán)及含量分析