輝光放電質(zhì)譜儀是直接分析導(dǎo)電材料中的固態(tài)痕量元素的最佳工具，能在一次分析過程中測定基體元素(~100 %)、主體元素(%)、微量元素(ppm)、痕量元素(ppb)和超痕量元素(ppt)。
1.輝光放電質(zhì)譜儀采用直接取樣技術(shù)，無需要樣品轉(zhuǎn)化為溶液，即可進行元素定量分析，同傳統(tǒng)的酸溶解測試方法相比較，二次污染小。因此，在測試分析定量上準(zhǔn)確性更高。
2.輝光放電質(zhì)譜儀將高效率輝光放電離子源與高分辨率質(zhì)譜結(jié)合，具備高的分辨率和靈敏度、極低的檢測限、良好的數(shù)據(jù)重現(xiàn)性和一次74種元素分析足以滿足高純材料分析的要求。
3.輝光放電質(zhì)譜儀是高純金屬材料純度分析通用手段，是分高純材料(雜質(zhì)含量在ppm以下)的重要和可靠的手段，比如B、P、Fe(檢測限分別為6.7ppb、6.5ppb、0.3ppb)。能測試的元素大部分在亞ppb級。