Leica EM RES102 多功能離子減薄儀是萊卡公司生產(chǎn)的一款集TEM、SEM和LM樣品制備功能于一體的全自動(dòng)桌面式設(shè)備。通過離子槍激發(fā)獲得離子束，以一定入射角度對(duì)樣品進(jìn)行轟擊，以去除樣品表面原子，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的離子束加工。該設(shè)備具有高能量離子研磨功能，也能用于低能量及溫和的離子束研磨，拋光區(qū)域可達(dá)25 mm，研磨過程參數(shù)全電腦控制。該設(shè)備廣泛用于無機(jī)薄片樣品的大面積減薄以有利于TEM觀察，也可對(duì)樣品表面污染層或涂層進(jìn)行清潔，或用于樣品表面的離子束刻蝕，便于SEM掃描電子顯微鏡觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息。