作為帶電粒子，離子和電子一樣在固體材料中會(huì)發(fā)生一系列散射，在散射過程中不斷失去所攜帶的能量最后停留在固體材料中。這其中分為彈性散射和非彈性散射，彈性散射不損失能量，但是改變離子在固體中的飛行方向。非彈性散射損失能量，因?yàn)殡x子與固體材料中原子的質(zhì)量是相當(dāng)?shù)?，離子與固體材料中的原子碰撞有能量損失。離子在材料中的損失主要有兩個(gè)原因,一是原子核損失,離子與固體材料中原子的原子核碰撞將部分能量傳遞給原子，使原子或移位或完全脫離固體材料表面,這一現(xiàn)象就是濺射，F(xiàn)IB加工中刻蝕功能就是依靠這一原理實(shí)現(xiàn)的。另一種損失是電子損失：將能量傳遞給原子核周圍的電子，使這些電子或被激發(fā)產(chǎn)生二次電子發(fā)射，或剝離固體原子核周圍的部分電子，使原子電離成離子，產(chǎn)生二次離子發(fā)射。