掃描電鏡的特點(diǎn):
1. 理論分辨率較高,實(shí)際拍攝結(jié)合到具體樣品,我們認(rèn)為10nm以下尺寸的結(jié)構(gòu),建議用透射電鏡來做。
2. 掃描-EDS的空間分辨率我們認(rèn)為實(shí)際應(yīng)用中,一般是1um以上,如果想要分析的顆粒尺寸低于這個(gè)尺寸,建議用透射-EDS。
3. 制樣簡(jiǎn)單,只要干燥即可,還要求導(dǎo)電性好,不過可以通過噴金進(jìn)行改善。
4. 測(cè)試效果最接近人眼直接觀看的效果,立體感較強(qiáng),只能看到表面信息,看不到樣品內(nèi)部信息。
4. 由于樣品經(jīng)過干燥,固定,噴金或者切割等步驟,以及實(shí)際拍攝時(shí)選擇的電壓,模式等參數(shù),在進(jìn)行尺寸測(cè)量以及圖片分析的時(shí)候,切記一定要謹(jǐn)慎分析,勿引入假象。