透射電鏡的特點(diǎn):
1. 分辨率極高(目前微觀成像方法中分辨率最高的方法),最簡(jiǎn)單的生物電鏡實(shí)際分辨率可以達(dá)到1 nm,場(chǎng)發(fā)射透射電鏡實(shí)際分辨率可以達(dá)到0.2 nm左右,經(jīng)過球差矯正之后的球差電鏡分辨率可以達(dá)到0.078 nm,能夠非常清晰的分辨單個(gè)原子。
2.一般配置的TEM-EDS的空間分辨率我們認(rèn)為實(shí)際應(yīng)用中,一般是50 nm以上,配置了超級(jí)能譜的Talos f200X,他的EDS空間分辨率可以達(dá)到幾個(gè)nm,僅次于球差配置的能譜分辨率。
3.透射電鏡對(duì)樣品的要求較高,需要滿足干燥,樣品厚度低于500 nm,對(duì)于常規(guī)的納米材料,粉末或者溶液直接用載網(wǎng)擔(dān)載樣品即可,但是對(duì)于塊體,膜材,微米級(jí)別大顆粒,器件,生物組織樣本等,都需要經(jīng)過特殊的樣品前處理,才能進(jìn)樣拍攝。
4.透射電鏡成像模式較多,可以提供更多的晶體結(jié)構(gòu)方面的信息,因此掌握晶體理論,進(jìn)行相關(guān)信息的分析解讀是一個(gè)難點(diǎn)。